微硅（MEMS）压力传感器

       敏芯微MEMS压力传感器基于美国专利发明SENSA工艺的芯片设计，相比于传统工艺传感器，具有体积小、重量轻、一致性好、稳定可靠、成本低等特点，此项技术代表了全球微硅传感器MEMS制成工艺的技术潮流与前沿水准。迄今为止，只有德国、意大利与美国的少数知名半导体企业掌握了类似技术。该项技术已经在中国大陆与美国申请了专利，并且成功获得了授权。另一方面，敏芯微依托自身成熟的MEMS产业链,完成了从5 kPA到5 MPA的压力芯片布局，数字胎压计芯片\血压计传感器\汽车MAP\汽车碳罐油气压力成品等均已经大批稳定供货，产品广泛地应用于消费电子、医疗、汽车、工业控制等众多领域。